詳細(xì)描述:

儀器適用范圍：

伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，我國(guó)半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸（200mm），MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測(cè)而開發(fā)的新產(chǎn)品。MA3000配備反射照明光學(xué)系統(tǒng)，反射式暗場(chǎng)和偏光系統(tǒng)，使它可用在相同尺寸的半導(dǎo)體掩模板，液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗(yàn)場(chǎng)合。

儀器特性：

1 l200mmX200mm帶快速離合器大行程載物臺(tái)

2 l視場(chǎng)數(shù)∮22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差物鏡

3 l落射光明場(chǎng)、暗場(chǎng)及偏光可快速轉(zhuǎn)換

4 l機(jī)架經(jīng)計(jì)算機(jī)《有限元》分析處理，有高穩(wěn)定性及抗振性

5 l軸承鋼淬火后精密加工的滾柱導(dǎo)軌，使儀器具有穩(wěn)定的使用精度及高的可靠性

6 l采用人機(jī)工程學(xué)的設(shè)計(jì)理念，調(diào)焦手輪前置，使之操作舒適。

高質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng)，確保儀器在對(duì)各試樣檢驗(yàn)時(shí)均能獲得良好的成像質(zhì)量。

無限遠(yuǎn)校正像差長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡

MA3000配用了本公司開發(fā)的視場(chǎng)數(shù) 22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差系列物鏡。對(duì)各種被檢測(cè)的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質(zhì)量。物鏡的超長(zhǎng)工作距離，可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡

在反射照明光路中，明場(chǎng)、暗場(chǎng)和偏光可快速轉(zhuǎn)換

MA3000配有明場(chǎng)和暗場(chǎng)共用的物鏡，只要拉動(dòng)拉桿，即可明場(chǎng)暗場(chǎng)轉(zhuǎn)換；只需插入或拉出起偏器和檢偏器，即可偏光轉(zhuǎn)換，操作十分方便。

采用完善的柯拉照明系統(tǒng)

MA3000采用完善的柯拉照明系統(tǒng)，在整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)照明均勻。